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件的工作特性。 去离子水以电阻率 (resistivity) 来定义好坏,一般要求至17。5MΩ…cm以上才算合格;为此需动用多重离子交换树脂、RO逆渗透、与UV紫外线杀菌等重重关卡,才能放行使用。 由于去离子水是最佳的溶剂与清洁剂,其在半导体工业之使用量极为惊人!所以张国栋又多了一项扶植下游产业的机会!)
8、洁净室所有用得到的气源,包括吹干晶圆及机台空压所需要的,都得使用氮气 (98),吹干晶圆的氮气要求99。8以上的高纯氮!”
看着上面的规定,张国栋长长的舒了一口气,这样的规定,这样的细节,张国栋知道其实还有诸如污水处理,废气排放等环保问题,这也需要大规模的投入,后世的意法半导体就是以环境保护措施施行严格闻名的。
很显然,从初步震撼中回神的技术员们也看到了墙上的规定,也许别的他们不知道,可是那个限用重离子水和99。8的纯氮就让他们吃惊得舌头都要吐出来了。 那位小白同志显然对自己造成的震撼也比较满意,不过当他看到张国栋那若无其事的样子后心中又微微的不服气起来,尽管他听总裁说眼前这家伙也算是一个大老板了。
好在龙腾科技已经有了初步的洁净室了,虽然可能没有办法提升到Intel这种比较变态的class1级,但是从class10到class5应该还是不难的,只要再增添一些设备,然后在某些设计方面做些必要的改进,对管理进行得更加严格一些应该就没问题了。 张国栋是暗暗下定决心,回到深圳后一定要将洁净室的等级给提上去,细节决定成败,既然目前龙腾科技没办法弄到1。5微米的生产线,那么就在细节上下功夫!
随着小白同志的带领,张国栋他们进入到硅晶圆的制作室
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