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好处便是交流和共享,我想任何有志于在这方面做出一点成绩的人都能取得成功。 我们到时候也会开通一个这方面地创业基金,希望有志于从事网络创业的方面能够踊跃申请,只要你有好的idea,只要你有良好的合作团队,只要你能做出一份完整的策划,你都有可能赢得我们的创业基金的支持哦。 ”其实后面这段张国栋基本上没讲什么应用,完全是空话和套话,要知道这可是后世中国发表论文的绝对招数,不像老外,论文里面通常都有大量的实验数据的论证,现在的美国佬当然不知道张国栋耍了个花枪,他们还沉浸在张国栋画的画饼中呢。
第二天张国栋如愿的带着自己的技术团队奔赴Intel进行合作洽谈和学习,虞有程果然比较有面子,来负责为张国栋他们讲解的是Intel的资深工程师,对整个Intel的晶圆生产流程都有着严格的了解以及自己独到的见解。
“各位,请穿上面前的无尘衣,我们马上进入我们的洁净室。 我听总裁先生说了,贵公司也建立了洁净室。 不过和我们的洁净室要求不一样。 一般地机械加工是不需要洁净室的,因为加工分辨率在数十微米以上,远比日常环境的微尘颗粒为大。 但进入半导体组件或微细加工的世界,空间单位都是以微米计算,因此微尘颗粒沾附在制作半导体组件的晶圆上,便有可能影响到其上精密导线布局的样式,造成电性短路或断路的严重后果。 所以我们建立了这个洁净室。 更是为洁净程度建立了一系列地标准。 你们面前的这个洁净室其费用就高达数亿美元。 ”可能这厮是典型地白人思维,骨子里应该是看不起黄种人的。 当说到数亿美元的时候眼中带着些许的嘲笑和挑衅,张国栋当然知道他们是什么意思。 可惜其它的技术员都沉醉于这个超现代化的洁净室里面,那是一种你不身临其境绝对不会感受到的震撼,尽管龙腾也有自己地洁净室,但是就像这家伙说的这样,不是一个等级的。 更何况平常也只有一些需要做布局的技术员才会去用洁净室,主要是由于进入洁净室太麻烦。 到现在他们才知道,原来细节决定了一切。
“我们Intel有规定,所有的半导体制程设备,都必须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中,这就是洁净室的来由。 洁净室的洁净等级,有一个公认地标准,以class 10为例,意谓在单位立方英呎的洁净室空间内。 平均只有粒径0。5微米以上的粉尘10粒。 而我们Intel要求的是1…2粒。 ”说完带着一种自豪的眼光望着眼前那充满了科幻气息一种朦胧美的厂房,地确,他们有骄傲的理由,要知道class后头数字越小,洁净度越佳,其造价也越昂贵。 龙腾科技的洁净室是要求最低级别的。
这个时候张国栋注意到墙上有一个霓虹灯打出来的相关技术与使用管理办法。
“1、内部要保持大于一大气压的环境,以确保粉尘只出不进。 (所以需要大型鼓风机,将经滤网的空气源源不绝地打入洁净室中)
2、保持温度与湿度的恒定(为了保持这个恒定,大型空调设备须搭配于前述之鼓风加压系统中。 换言之,鼓风机加压多久,冷气空调也开多久。 这也就是一个同步的问题)
3、所有气流方向均由上往下为主(这一点相当的严格,必须尽量减少突兀之室内空间设计或机台摆放调配,使粉尘在洁净室内回旋停滞地机会与时间减至最低程度。 )
4、所有建材均以不易产生静电吸附地材质为主。 (这在87年的中国有点难度,不过军事上应该有相关地建材,张国栋应该能搞定)
5、所有人事物进出。 都必须经过空气吹浴 (air shower) 的程序。 将表面粉尘先行去除。 (这也是龙腾科技的标准程序)
6、进出使用人员必须穿戴无尘衣,除了眼睛部位外。 均需与外界隔绝接触(人体及衣物的毛屑是一项主要粉尘来源,为此务必严格要求穿戴无尘衣,就像现在他们进来,而在次微米制程技术的工厂内,工作人员几乎穿戴得像航天员一样。 当然,化妆是在禁绝之内,铅笔等也禁止使用。 )
7、使用水只能限用去离子水 (DI water; de…ionized water)。 (这是除了空气以外的又一则严格要求!一来防止水中粉粒污染晶圆,二来防止水中重金属离子,如钾、钠离子污染金氧半 (MOS) 晶体管结构之带电载子信道 (carrier channel),影响半导体组
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