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练人手太少了,实在没办法。老板也知道我们是短板,因此我还被老板批过。唉!”
“好啦!既然老板已经批评了,我们就不批评你了。”郭东又小小的开了一记玩笑,然后正式说道:“非接触式光刻的技术要点就是激光头、掩模板还有基片要无限接近,最好只相差几个纳米,这样才能保证最大的精度。这是属于一种1:1投影技术或者说光刻技术,对掩模板的制作要求非常高,卢总,能不能将设计图进行电子图缩小?而不是光学缩小?”
“理论上是可以的,我们尽量想办法,也就是说我们根本不搞纸质图纸了,直接用电子图纸投影曝光?”涉及到他的专业,卢汝成想也没想就回答了。
这时洪涛也获得了灵感,因此接过了话头说道:“我打算采用液晶投影技术,液晶是一种分子级别的化合物,只要我们技术足够,那么控制精度可以无限小,我相信它能够很好的解决1:1电子图形缩小问题。我们就不走国外那套老路了,那样太复杂,而且精度不够。”
“也只有你才知道国外是怎么搞的,我们从来都是自己搞自己的,不也很好吗?只要我们达到了目的就够了。”
这时王波也插话说道,他对国外是怎么搞的是真不懂,他的话没有半句水份。
“洪所长这个主意很好,这样电子图形缩小就没问题了。”卢汝成对洪涛的办法不由拍案叫绝。
“这样我们是不是可以取消掩模板呢?”
郭东提出了一个大胆的设想。
“当然不行,液不能代替掩模板,因为液晶屏是通过光的偏振原理,来实现图像显示的。它根本就不可能实现,高精度光刻,不过我们可以试一试,让液晶屏代替光刻机,给掩模板显影电子图形,如果能够做到,也是一种了不得的进步,能节省很多步骤。
不过我们必须研究出一种,对光非常敏感的光刻胶。在化学蚀刻的时候,又能有效的保护未被光照的镀铬层。”
“王所长,这点你们能解决吧!”洪涛先给郭东解释了液晶原理,然后又问王波道。
“没问题。自从研究光刻胶以来,我们已经研究出多种光刻胶了。都是分别针对不同的物质,给掩模板用的光刻胶,我们已经研究出来了。效果怎么样?要试试才知道。”王波给予了肯定的回答。
“那太好了,那我们就试试吧!”郭东激动的说道
由于这次用途的特殊原因,他们不需要复杂的液晶技术,只需要第一代液晶技术,即tnlcd。就是简单的黑白屏,白光就是电路图,如果掩模板与液晶屏隔得足够近的说,也可以留下满意的电路图形。
还有一点与普通的液晶屏不同,这里的背景光源是强光源,他不是给人看的,而是专为掩模板曝光的。
当然缺点也很明显,由于液晶分子的大小原因,精度不够,因此不适合纳米级芯片技术,这是他们后来经过实验,才明白这个道理的。
未完待续……
第109章:画面太美
郭东和他们几人,到了实验车间,郭东作为现场最不懂液晶技术的人,他就问其他几人:“液晶是怎么控制开关的,它又是怎么显示电路图形的?”
“液晶是早在1888年由奥地利植物学家莱尼兹发现的一种在常温下介于固态和液态之间的一种化合物质,由于当时并没有这类物质的称呼,因此他就取名液晶,就是液态固体的意思。
后来,直到1968年,美国rca公司的沙诺夫研发中心的工程师,发现液晶受电压的影响而改变其排列顺序,他们利用这一现象而发明了第一块液晶屏。
至于怎么显示图形,则是把液晶置于平行的玻璃面板沟槽中,这样的玻璃面板有两块,前后两排沟槽是呈九十度垂直的,这样就构成了一个个的单元格,也就是像素点。在两排沟槽的中间,是呈网状的透明电极。
我们把横向排列的沟槽通电,那么这条沟槽中的液晶它们就会沿沟槽有顺序地排列,这时背景光源就可以通过它们。但是还有一层纵向排列的液晶它们没通电,因此它们是呈混乱排列的,光线还是通不过。如果这时,我们给纵向排列的某一条沟槽通电,那么纵向排列和横向排列相交的一个点,这里光线就可以真正通过了,许多个这样的亮点就构成了图形。
当然真正的液晶技术不会这么简单,但我们现在就只要这么简单的技术就可以了。复杂了反而不好,会影响图像精度。”说到液晶就是王波的菜,因此他小小的向郭东科普了一番。
“原来
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