第279部分(第4/4 页)
造的总经理,这个时候是作为甲方的负责人出现在现场的。每当有史蒂夫提出异议的地方,他是要负责进行解释的。
“史蒂夫,我想你应该看看这个数据。”詹姆斯皱着眉头,端着手里的一摞表格走了过来。
“怎么了?”史蒂夫没有太过在意,这毕竟是新一代的设备,一些新的数据和上一代设备不同是很正常的事情。
“这台光刻机的自减振六自由度工件台,多维减振阻尼的非线性解耦控制读数,我想可能达不到设计要求。”
詹姆斯将手里的表格交到史蒂夫的手里,指着上面的一行数据说道。自减振工作台是用于承担硅晶圆的主要设备,其平衡稳定性要求非常之高。六自由度就说明它有六个调节平衡的维度,每增加一个维度,机械设备的控制难度都要上升一个级别。
“我看看。”史蒂夫接过表格,皱眉看了起来。自减振六度工作台是光刻机的半个核心技术,对机械制造水平要求非常之高。中国人新学乍练,是否真的能做好这样的设备,他其实心里也早早就打了个问号。
先入为主,往往就是偏见的开始。史蒂夫虽然不是真的有意找茬,但却是在不自觉中就产生了偏见。
这种精细的机械结构,中国人应该是无法掌握的。实际上美国人自己也做过这个技术,但始终没有日本人的设备精度高。但技术原理都是那些东西,同样的设计最终精度却不同,只能说是有某种没有落下文字的窍门被日本人掌握了吧?
“麻先生,你能不能解释一下这个数据的问题?如果我没记错的话,你们的设备比上一代日本尼康的设备,控制读数减少了10%。”
史蒂夫的这句话通过他身上的麦克风传到了外面的音响里,顿时会场上几乎所有人的脸色都阴沉了下来……
第四百九十六章坚持
麻友公的眉头深深的皱了起来,不可置信的说道:“这不可能!”
光刻机装配过程中每一步都有质检,系统装配完毕之后还会有子系统自检,直到出厂之前还会有全系统检测。
像这种高精度、高科技的设备,是要把误差从最
本章未完,点击下一页继续。