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个皮箱。本想能够开开眼界,实在是可惜、可惜啊……”
“没什么可惜的嘛。”方剑阁呵呵笑道:“这些资料运回去,还不是要指望张工和诸位帮忙?单凭华晶的资源,可是没有这个消化的能力。”
方剑阁这话说的一点不错,尼康除了光学系统的技术比国内先进以外,应该说在整个系统上都超过了国产光刻机。
光刻机虽然主要性能指标是光学系统带来的,但其对准系统、曝光系统、光源系统、传动和自动化控制系统,应该说是整个的超越了国产水平。带来的结果就是,国产光刻机并非只有在光刻线宽这一主要性能上,和尼康有差距。良品率、生产速度和易操作性以及稳定性等性能,实际上是全面落后的。
这也就是说,接收光刻机的成套资料,不仅仅是涉及到光学研究所的问题。自动化控制、光电、化学、精密制造、自动化控制……
这里面至少涉及十多个学科,上百个相关方向。尼康若非是日本军工企业出身,那是绝不可能独力负担起光刻机研发重担的。实际上真正正确的做法,反而应该是阿斯麦一样,专注于系统集成和技术研发。把子系统都交给其他的企业合作分担,这才是真正正确的做法。
“好吧,白石部长。”方剑阁转过身来点头说道:“我们先把资料运回去,然后再开始验收工作吧。”
“那好吧。”白石茉莉奈淡然的点了点头,笑着说道:“不过我需要向方总提醒一下,在没有完成光刻机成套技术资料的验收前,尼康将不会继续提供纳米光栅的技术。如果在所以光刻机供货结束后华晶集团还没有完成资料的验收,以至于导致合同没有按期履行的话……”
白石茉莉奈横眼看了在场的中国人一圈,慢慢的说道:“尼康将以华晶集团违约的理由,拒绝交付纳米光栅的技术。”
方剑阁闻言大惊失色,忍不住怒道:“纳
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